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SiC清洗機(jī)有哪些分類

來源:恩氏濾油機(jī)
時間:2024-11-11
瀏覽量:1007

SIC清洗機(jī)就是碳化硅,目前市場的主流材料。既然如此,大家安排選購的時候,也想要明白一個重要問題,就是SiC清洗機(jī)到底可以分成多少種類?

目前資料顯示,主要可以根據(jù)處理方式、自動化程度、適用規(guī)格以及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等多個方面進(jìn)行劃分。

按處理方式分類

單片清洗設(shè)備:這種設(shè)備可以針對單個晶圓的清洗進(jìn)行條件優(yōu)化,適用于需要精細(xì)清洗或特殊處理的場合。

槽式清洗機(jī):用于批量處理晶圓,適合大規(guī)模生產(chǎn),能夠同時清洗多個晶圓,提高生產(chǎn)效率。

按自動化程度分類

全自動SiC清洗機(jī):具備全自動控制功能,通常配備高速機(jī)械手,能夠?qū)崿F(xiàn)自動上下料、自動配液/補(bǔ)液等功能,大大提高了工作效率和操作的便捷性。

半自動SiC清洗機(jī):部分操作需要人工干預(yù),但仍然具備較高的自動化程度,適合中等規(guī)模的生產(chǎn)線使用。

按適用規(guī)格分類

兼容多種規(guī)格的SiC清洗機(jī):可兼容不同尺寸的SiC襯底片進(jìn)行清洗,如4寸、6寸、8寸等不同尺寸的晶圓。

特定規(guī)格的SiC清洗機(jī):針對某一特定尺寸的SiC襯底片進(jìn)行設(shè)計(jì)和優(yōu)化,以滿足特定生產(chǎn)線的需求。

按結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)分類

緊湊型SiC清洗機(jī):設(shè)備外觀大氣、結(jié)構(gòu)緊湊,后部設(shè)置排風(fēng)口等設(shè)計(jì),有利于保證設(shè)備內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定和清潔。

模塊化設(shè)計(jì)SiC清洗機(jī):軟件客制化、模塊化設(shè)計(jì),工序可靈活編輯、組合選配,滿足不同客戶的生產(chǎn)需要。


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