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因為各種真空泵的性能不同,除了滿足容器真空的共同點。因此,在選擇時,必須明確泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的任務(wù)是非常重要的。總結(jié)了泵在不同工作領(lǐng)域的作用
1)作為系統(tǒng)中的主泵,所謂主泵就是將真空系統(tǒng)的容器直接抽真空,以獲得滿足工藝要求的真空度。
2)粗泵,粗泵是指真空泵從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓力,達(dá)到另一個泵送系統(tǒng)可以開始工作。
3)前級泵,前級泵是一種真空泵,用于保持另一個泵的前級壓力低于其高許可的前級壓力。
4)維護(hù)泵,維護(hù)泵是指真空系統(tǒng)非常小時,不能有效使用主前泵。為此,真空系統(tǒng)中的另一個輔助前泵,以保持主泵的正常運行或低壓真空泵所需的容器。
5)粗真空泵或低真空泵.低真空泵是指在低真空或粗真空壓力范圍內(nèi)工作的真空泵,從大氣開始降低被抽容器的壓力。
6)高真空泵,高真空泵是指在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
7)超高真空泵,超高真空泵是指在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
8)增壓泵,增壓泵通常是指在低真空泵和高真空泵之間工作的真空泵,以提高泵系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的泵量,或降低前的泵速率。